Etude fondamentale et adaptation à la pulvérisation cathodique d'un réacteur à plasma radiofréquence PDF Download
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Author: Ould Mohamed Mohamed Salem Publisher: ISBN: Category : Languages : fr Pages : 171
Book Description
L'UTILISATION DES DECHARGES RADIOFREQUENCES EST TRES REPANDUE DANS L'INDUSTRIE. L'OPTIMISATION DES REACTEURS A PLASMA CONSISTE A AMELIORER LE TRANSFERT D'ENERGIE DU GENERATEUR AU PLASMA LUI MEME. L'AMELIORATION DU RENDEMENT ENERGETIQUE A ETE OBTENUE A L'AIDE D'UN CHOIX JUDICIEUX DE LA GEOMETRIE DES ELECTRODES ET DU SYSTEME D'ADAPTATION D'IMPEDANCE. L'ETUDE EXPERIMENTALE DE LA PUISSANCE EFFECTIVE TRANSMISE AU PLASMA, MONTRE QUE L'ADAPTATEUR EN L ASSURE LE MEILLEUR TRANSFERT D'ENERGIE EN PARTICULIER POUR LES PRESSIONS INFERIEURES A 100 MTORR. UNE NOUVELLE APPROCHE EXPERIMENTALE EST PROPOSEE AFIN D'ETUDIER LA DEPENDANCE ENTRE LA GEOMETRIE DU REACTEUR ET LA DISTRIBUTION DE POTENTIEL DE LA DECHARGE (LOI DES AIRES). LES RESULTATS OBTENUS SONT COMPARES AUX PREVISIONS DE MODELES THEORIQUES REPRESENTATIFS. LE CONTROLE DU PLASMA EST EFFECTUE A LA FOIS PAR SONDE ELECTROSTATIQUE ET PAR SPECTROSCOPIE D'EMISSION. UNE SONDE ET SON CIRCUIT DE COMPENSATION ONT ETE REALISES DANS LE BUT DE DETERMINER LES DIFFERENTS PARAMETRES DU PLASMA (DENSITES DES PARTICULES, TEMPERATURE ELECTRONIQUE ET ENERGIE DES IONS BOMBARDANT LA SURFACE DU SUBSTRAT). UN DIAGNOSTIC OPTIQUE BASE SUR LES INTENSITES D'EMISSION A PERMIS D'ETUDIER LA DISTRIBUTION AXIALE DE L'ENERGIE DES ELECTRONS, LE CONTROLE DE LA STABILITE ET L'INFLUENCE DU POURCENTAGE D'AZOTE SUR L'EFFICACITE DU PROCESSUS DE PULVERISATION. LE REACTEUR EST UTILISE DANS DES CONDITIONS DE DEPOT PAR PULVERISATION CATHODIQUE D'UNE CIBLE D'ALUMINIUM SOUS ATMOSPHERE ARGON OU ARGON-AZOTE. LES VITESSES DE DEPOT OBTENUES SONT EN BON ACCORD AVEC LES RESULTATS ANTERIEURS. L'AUGMENTATION DU POURCENTAGE D'AZOTE A ETE CORRELEE AVEC LA DECROISSANCE DE LA VITESSE DE DEPOT. ENFIN, L'ANALYSE DE COMPOSITION DES FILMS OBTENUS A ETE REALISEE PAR SPECTROSCOPIE XPS.
Author: Ould Mohamed Mohamed Salem Publisher: ISBN: Category : Languages : fr Pages : 171
Book Description
L'UTILISATION DES DECHARGES RADIOFREQUENCES EST TRES REPANDUE DANS L'INDUSTRIE. L'OPTIMISATION DES REACTEURS A PLASMA CONSISTE A AMELIORER LE TRANSFERT D'ENERGIE DU GENERATEUR AU PLASMA LUI MEME. L'AMELIORATION DU RENDEMENT ENERGETIQUE A ETE OBTENUE A L'AIDE D'UN CHOIX JUDICIEUX DE LA GEOMETRIE DES ELECTRODES ET DU SYSTEME D'ADAPTATION D'IMPEDANCE. L'ETUDE EXPERIMENTALE DE LA PUISSANCE EFFECTIVE TRANSMISE AU PLASMA, MONTRE QUE L'ADAPTATEUR EN L ASSURE LE MEILLEUR TRANSFERT D'ENERGIE EN PARTICULIER POUR LES PRESSIONS INFERIEURES A 100 MTORR. UNE NOUVELLE APPROCHE EXPERIMENTALE EST PROPOSEE AFIN D'ETUDIER LA DEPENDANCE ENTRE LA GEOMETRIE DU REACTEUR ET LA DISTRIBUTION DE POTENTIEL DE LA DECHARGE (LOI DES AIRES). LES RESULTATS OBTENUS SONT COMPARES AUX PREVISIONS DE MODELES THEORIQUES REPRESENTATIFS. LE CONTROLE DU PLASMA EST EFFECTUE A LA FOIS PAR SONDE ELECTROSTATIQUE ET PAR SPECTROSCOPIE D'EMISSION. UNE SONDE ET SON CIRCUIT DE COMPENSATION ONT ETE REALISES DANS LE BUT DE DETERMINER LES DIFFERENTS PARAMETRES DU PLASMA (DENSITES DES PARTICULES, TEMPERATURE ELECTRONIQUE ET ENERGIE DES IONS BOMBARDANT LA SURFACE DU SUBSTRAT). UN DIAGNOSTIC OPTIQUE BASE SUR LES INTENSITES D'EMISSION A PERMIS D'ETUDIER LA DISTRIBUTION AXIALE DE L'ENERGIE DES ELECTRONS, LE CONTROLE DE LA STABILITE ET L'INFLUENCE DU POURCENTAGE D'AZOTE SUR L'EFFICACITE DU PROCESSUS DE PULVERISATION. LE REACTEUR EST UTILISE DANS DES CONDITIONS DE DEPOT PAR PULVERISATION CATHODIQUE D'UNE CIBLE D'ALUMINIUM SOUS ATMOSPHERE ARGON OU ARGON-AZOTE. LES VITESSES DE DEPOT OBTENUES SONT EN BON ACCORD AVEC LES RESULTATS ANTERIEURS. L'AUGMENTATION DU POURCENTAGE D'AZOTE A ETE CORRELEE AVEC LA DECROISSANCE DE LA VITESSE DE DEPOT. ENFIN, L'ANALYSE DE COMPOSITION DES FILMS OBTENUS A ETE REALISEE PAR SPECTROSCOPIE XPS.
Author: Agnes Buka Publisher: World Scientific ISBN: 1848167997 Category : Science Languages : en Pages : 299
Book Description
The book intends to give a state-of-the-art overview of flexoelectricity, a linear physical coupling between mechanical (orientational) deformations and electric polarization, which is specific to systems with orientational order, such as liquid crystals. Chapters written by experts in the field shed light on theoretical as well as experimental aspects of research carried out since the discovery of flexoelectricity. Besides a common macroscopic (continuum) description the microscopic theory of flexoelectricity is also addressed. Electro-optic effects due to or modified by flexoelectricity as well as various (direct and indirect) measurement methods are discussed. Special emphasis is given to the role of flexoelectricity in pattern-forming instabilities. While the main focus of the book lies in flexoelectricity in nematic liquid crystals, peculiarities of other mesophases (bent-core systems, cholesterics, and smectics) are also reviewed. Flexoelectricity has relevance to biological (living) systems and can also offer possibilities for technical applications. The basics of these two interdisciplinary fields are also summarized.
Author: Jerome V. Moloney Publisher: Springer Science & Business Media ISBN: 9780387985817 Category : Business & Economics Languages : en Pages : 270
Book Description
Mathematical methods play a significant role in the rapidly growing field of nonlinear optical materials. This volume discusses a number of successful or promising contributions. The overall theme of this volume is twofold: (1) the challenges faced in computing and optimizing nonlinear optical material properties; and (2) the exploitation of these properties in important areas of application. These include the design of optical amplifiers and lasers, as well as novel optical switches. Research topics in this volume include how to exploit the magnetooptic effect, how to work with the nonlinear optical response of materials, how to predict laser-induced breakdown in efficient optical devices, and how to handle electron cloud distortion in femtosecond processes.
Author: Ould Mohamed Mohamed Salem
Author: Ould Mohamed Mohamed Salem
Author: Agnes Buka
Author: Jerome V. Moloney