Etude de l'ablation par laser U.V. de cibles de nitrure de bore PDF Download
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Book Description
DE PART LES PROPRIETES EXCEPTIONNELLES DE CE MATERIAU (MECANIQUES, ELECTRONIQUES, OPTIQUES) ET COMPARABLES A CELLES DU DIAMANT, LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE BORE DE PHASE CRISTALLINE CUBIQUE (BN-C) EST EN PLEIN DEVELOPPEMENT ET SUSCITE DE NOMBREUSES ETUDES LIEES A LA DIFFICULTE DE SA SYNTHESE. CE TRAVAIL CONCERNE D'UNE PART, L'ANALYSE ET LA MODELISATION DE L'EXPANSION DU PANACHE PLASMA FORME LORS DE L'INTERACTION ENTRE UN FAISCEAU LASER U.V. ET UN MATERIAU ET D'AUTRE PART, LA REALISATION DE FILMS DE BN A FORT TAUX DE LIAISONS SP#3 (BN-C) SUR DES SUBSTRATS DE SILICIUM PAR LA TECHNIQUE DE PHOTOABLATION PAR LASER. L'ETUDE EST DIVISEE EN DEUX PARTIES PRINCIPALES: * LA PREMIERE PARTIE EST CONSACREE A UNE APPROCHE THEORIQUE DU PHENOMENE DE L'ABLATION LASER D'UN MATERIAU PAR LA PRESENTATION, LE DEVELOPPEMENT ET L'APPLICATION SUR NOS RESULTATS EXPERIMENTAUX, DE DIVERS MODELES TRADUISANT L'EXPANSION DU PLASMA SOUS VIDE ET SOUS ATMOSPHERE CONTROLEE. LES RESULTATS EXPERIMENTAUX REALISES AVEC DIFFERENTS MATERIAUX, SONT OBTENUS A PARTIR DES DIAGNOSTICS PAR IMAGERIE PAR CAMERA CCD ULTRA-RAPIDE ET PAR SPECTROSCOPIE OPTIQUE D'EMISSION DU PANACHE PLASMA. CETTE ETUDE APPROFONDIE PERMET DE COMPRENDRE ET DE QUANTIFIER LE TRANSPORT DE LA MATIERE EJECTEE DE LA CIBLE VERS LE SUBSTRAT SUR LEQUEL SE DEPOSENT LES PRODUITS DE L'ABLATION. * LA SECONDE PARTIE TRAITE DE LA DETERMINATION DES CONDITIONS DE DEPOT CONDUISANT A L'ELABORATION DE FILMS DE NITRURE DE BORE CONTENANT UN FORT TAUX DE LIAISONS SP#3 (BN-C) PAR PHOTOABLATION PAR LASER ASSISTEE PAR FAISCEAU D'IONS. LA FORMATION DU BN-C EST ETUDIEE EN FONCTION DE DIVERS PARAMETRES EXPERIMENTAUX TELS QUE, LE FLUX ET LE TYPE D'IONS IRRADIANT LA COUCHE EN COURS DE CROISSANCE, L'ENERGIE DE CES IONS, LA FLUENCE LASER, LA TEMPERATURE DU SUBSTRAT L'OPTIMISATION DE CES CONDITIONS DE DEPOTS A PERMIS L'OBTENTION DE COUCHES QUASI STOECHIOMETRIQUES (RAPPORT AZOTE SUR BORE DE L'ORDRE DE 0,9) ET CONTENANT ENVIRON 80 POUR CENT DE LIAISONS SP#3
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DE PART LES PROPRIETES EXCEPTIONNELLES DE CE MATERIAU (MECANIQUES, ELECTRONIQUES, OPTIQUES) ET COMPARABLES A CELLES DU DIAMANT, LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE BORE DE PHASE CRISTALLINE CUBIQUE (BN-C) EST EN PLEIN DEVELOPPEMENT ET SUSCITE DE NOMBREUSES ETUDES LIEES A LA DIFFICULTE DE SA SYNTHESE. CE TRAVAIL CONCERNE D'UNE PART, L'ANALYSE ET LA MODELISATION DE L'EXPANSION DU PANACHE PLASMA FORME LORS DE L'INTERACTION ENTRE UN FAISCEAU LASER U.V. ET UN MATERIAU ET D'AUTRE PART, LA REALISATION DE FILMS DE BN A FORT TAUX DE LIAISONS SP#3 (BN-C) SUR DES SUBSTRATS DE SILICIUM PAR LA TECHNIQUE DE PHOTOABLATION PAR LASER. L'ETUDE EST DIVISEE EN DEUX PARTIES PRINCIPALES: * LA PREMIERE PARTIE EST CONSACREE A UNE APPROCHE THEORIQUE DU PHENOMENE DE L'ABLATION LASER D'UN MATERIAU PAR LA PRESENTATION, LE DEVELOPPEMENT ET L'APPLICATION SUR NOS RESULTATS EXPERIMENTAUX, DE DIVERS MODELES TRADUISANT L'EXPANSION DU PLASMA SOUS VIDE ET SOUS ATMOSPHERE CONTROLEE. LES RESULTATS EXPERIMENTAUX REALISES AVEC DIFFERENTS MATERIAUX, SONT OBTENUS A PARTIR DES DIAGNOSTICS PAR IMAGERIE PAR CAMERA CCD ULTRA-RAPIDE ET PAR SPECTROSCOPIE OPTIQUE D'EMISSION DU PANACHE PLASMA. CETTE ETUDE APPROFONDIE PERMET DE COMPRENDRE ET DE QUANTIFIER LE TRANSPORT DE LA MATIERE EJECTEE DE LA CIBLE VERS LE SUBSTRAT SUR LEQUEL SE DEPOSENT LES PRODUITS DE L'ABLATION. * LA SECONDE PARTIE TRAITE DE LA DETERMINATION DES CONDITIONS DE DEPOT CONDUISANT A L'ELABORATION DE FILMS DE NITRURE DE BORE CONTENANT UN FORT TAUX DE LIAISONS SP#3 (BN-C) PAR PHOTOABLATION PAR LASER ASSISTEE PAR FAISCEAU D'IONS. LA FORMATION DU BN-C EST ETUDIEE EN FONCTION DE DIVERS PARAMETRES EXPERIMENTAUX TELS QUE, LE FLUX ET LE TYPE D'IONS IRRADIANT LA COUCHE EN COURS DE CROISSANCE, L'ENERGIE DE CES IONS, LA FLUENCE LASER, LA TEMPERATURE DU SUBSTRAT L'OPTIMISATION DE CES CONDITIONS DE DEPOTS A PERMIS L'OBTENTION DE COUCHES QUASI STOECHIOMETRIQUES (RAPPORT AZOTE SUR BORE DE L'ORDRE DE 0,9) ET CONTENANT ENVIRON 80 POUR CENT DE LIAISONS SP#3
Author: FREDERIC.. ANTONI Publisher: ISBN: Category : Languages : fr Pages : 110
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LA TECHNIQUE D'ABLATION LASER EST APPLIQUEE A LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE COMPOSE SILICIUM-GERMANIUM ET DE CARBONE AMORPHE. UNE DESCRIPTION ANALYTIQUE DU PROCESSUS D'ABLATION MONTRE QUE LA REPARTITION GEOMETRIQUE DE LA DISTRIBUTION DE MATIERE SUR LE SUBSTRAT EST DE FORME ELLIPTIQUE ET EST INDEPENDANTE DE LA DENSITE D'ENERGIE DU FAISCEAU LASER SUR LA CIBLE AINSI QUE DE L'ELEMENT CHIMIQUE QUI LA COMPOSE. LES COUCHES DE COMPOSE SILICIUM-GERMANIUM PRESENTENT UNE STRUCTURE CRISTALLINE LORSQUE LA TEMPERATURE DU SUBSTRAT DE SILICIUM EST EGALE OU SUPERIEURE A 500 DEGRES. CEPENDANT, IL N'A PAS ETE POSSIBLE DE METTRE EN EVIDENCE DE CROISSANCE EPITAXIALE DE CES COUCHES. LES COUCHES DE CARBONE DEPOSEES A TEMPERATURE AMBIANTE PRESENTENT DES CARACTERISTIQUES DE TRANSPARENCE ET DE STRUCTURE QUI SE RAPPROCHENT DES MATERIAUX DIAMANTES
Author: Benoit Angleraud
Author: Benoit Angleraud
Author: Eric Fogarassy
Author: FREDERIC.. ANTONI
Author: Edward A. Metzbower