Author: PATRICK.. CHOLLET
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 209
Book Description
LE DISPOSITIF COMPORTE UN REACTEUR A PLASMA ACTIVE PAR UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE DANS UN GAZ EN ECOULEMENT A BASSE PRESSION, COUPLE A UN INTERFEROMETRE DE FOURIER ET A UN SPECTROMETRE LASER A DIODE ACCORDABLE. APPLICATION DE L'ENSEMBLE A L'ETUDE D'UN PLASMA DE SILANE ET, EN PARTICULIER A LA DETECTION EN TEMPS REEL DU RADICAL SIH. LES ELEMENTS THEORIQUES NECESSAIRES A L'IDENTIFICATION DE CETTE ESPECE INSTABLE ET A LA DETERMINATION EXPERIMENTALE DE SA CONCENTRATION SONT ETABLIS. ETUDE DE L'INFLUENCE DES PARAMETRES DE LA DECHARGE SUR L'ENSEMBLE DES PROCESSUS REACTIONNELS CONDUISANT A LA FORMATION DE SIH
REALISATION D'UN ENSEMBLE EXPERIMENTAL DESTINE A LA PRODUCTION ET A L'ETUDE SPECTROSCOPIQUE A LARGE BANDE D'ESPECES TRANSITOIRES. ANALYSE INFRAROUGE PAR LASER A DIODE DU RADICAL SIH DANS UN PLASMA DE SILANE
Author: PATRICK.. CHOLLET
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Pages : 209
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LE DISPOSITIF COMPORTE UN REACTEUR A PLASMA ACTIVE PAR UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE DANS UN GAZ EN ECOULEMENT A BASSE PRESSION, COUPLE A UN INTERFEROMETRE DE FOURIER ET A UN SPECTROMETRE LASER A DIODE ACCORDABLE. APPLICATION DE L'ENSEMBLE A L'ETUDE D'UN PLASMA DE SILANE ET, EN PARTICULIER A LA DETECTION EN TEMPS REEL DU RADICAL SIH. LES ELEMENTS THEORIQUES NECESSAIRES A L'IDENTIFICATION DE CETTE ESPECE INSTABLE ET A LA DETERMINATION EXPERIMENTALE DE SA CONCENTRATION SONT ETABLIS. ETUDE DE L'INFLUENCE DES PARAMETRES DE LA DECHARGE SUR L'ENSEMBLE DES PROCESSUS REACTIONNELS CONDUISANT A LA FORMATION DE SIH
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Pages : 209
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LE DISPOSITIF COMPORTE UN REACTEUR A PLASMA ACTIVE PAR UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE DANS UN GAZ EN ECOULEMENT A BASSE PRESSION, COUPLE A UN INTERFEROMETRE DE FOURIER ET A UN SPECTROMETRE LASER A DIODE ACCORDABLE. APPLICATION DE L'ENSEMBLE A L'ETUDE D'UN PLASMA DE SILANE ET, EN PARTICULIER A LA DETECTION EN TEMPS REEL DU RADICAL SIH. LES ELEMENTS THEORIQUES NECESSAIRES A L'IDENTIFICATION DE CETTE ESPECE INSTABLE ET A LA DETERMINATION EXPERIMENTALE DE SA CONCENTRATION SONT ETABLIS. ETUDE DE L'INFLUENCE DES PARAMETRES DE LA DECHARGE SUR L'ENSEMBLE DES PROCESSUS REACTIONNELS CONDUISANT A LA FORMATION DE SIH