PHYSICO-CHIMIE D'UN PLASMA MULTIPOLAIRE DE SILANE ET PROCESSUS DE DEPOSITION DU SILICIUM AMORPHE HYDROGENE PDF Download
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Author: Jérôme Perrin (auteur d'une thèse de physique).) Publisher: ISBN: Category : Languages : fr Pages : 419
Book Description
PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES FONDAMENTALES ET REACTIONS ELEMENTAIRES DES ESPECES PRESENTES DANS UN PLASMA DE SILANE. ETUDE EXPERIMENTALE DES PROPRIETES ELECTRIQUES DU PLASMA MULTIPOLAIRE ET MODELISATION DE L'EQUILIBRE DE LA DECHARGE. ANALYSE DE LA DECOMPOSITION CHIMIQUE DU PLASMA EN FONCTION DES CONDITIONS DE DECHARGE. ETUDE DES MECANISMES DE CROISSANCE DE LA COUCHE DE A-SI:H PAR ELLIPSOMETRIE ET ANALYSE DES PROPRIETES OPTIQUES, CHIMIQUES ET STRUCTURELLES
Author: Jérôme Perrin (auteur d'une thèse de physique).) Publisher: ISBN: Category : Languages : fr Pages : 419
Book Description
PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES FONDAMENTALES ET REACTIONS ELEMENTAIRES DES ESPECES PRESENTES DANS UN PLASMA DE SILANE. ETUDE EXPERIMENTALE DES PROPRIETES ELECTRIQUES DU PLASMA MULTIPOLAIRE ET MODELISATION DE L'EQUILIBRE DE LA DECHARGE. ANALYSE DE LA DECOMPOSITION CHIMIQUE DU PLASMA EN FONCTION DES CONDITIONS DE DECHARGE. ETUDE DES MECANISMES DE CROISSANCE DE LA COUCHE DE A-SI:H PAR ELLIPSOMETRIE ET ANALYSE DES PROPRIETES OPTIQUES, CHIMIQUES ET STRUCTURELLES
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L'OBJECTIF DE CE TRAVAIL CONSISTE A ANALYSER PUIS A MODELISER LE PHENOMENE DE DEPOT DE SILICIUM AMORPHE HYDROGENE A PARTIR DE SILANE DANS DES REACTEURS A ACTIVATION PLASMA. L'ETUDE A TOUT PARTICULIEREMENT ETE CONSACREE AU DOMAINE DES PUISSANCES RF ELEVEES. ELLE DEMONTRE QUE, SI UNE CHIMIE ASSEZ SIMPLE PEUT ETRE UTILISEE POUR DES CONDITIONS DE FAIBLE PUISSANCE, IL N'EN EST PAS DE MEME POUR DES CONDITIONS DE PUISSANCE ELEVEE OU UN GRAND NOMBRE DE REACTIONS DOIT ETRE PRIS EN COMPTE. L'UTILISATION D'UN LOGICIEL RELATIVEMENT SIMPLIFIE, AFIN D'OBTENIR UN OUTIL DE SIMULATION D'UTILISATION COMMODE TOUT EN RESTANT PRECIS, NOUS A PERMIS D'EFFECTUER UNE ANALYSE NUMERIQUE SYSTEMATIQUE DES PROCESSUS CHIMIQUES MIS EN JEU DANS LA DECHARGE. LA CONFRONTATION ENTRE UN ENSEMBLE DE RESULTATS EXPERIMENTAUX, OBTENUS SUR UNE UNITE PILOTE, ET LES INFORMATIONS FOURNIES PAR L'EXPLOITATION DU LOGICIEL, NOUS A PERMIS D'ETABLIR LA QUALITE DU MODELE, ET DE TIRER UN ENSEMBLE DE CONCLUSIONS QUI AMELIORENT LA CONNAISSANCE DU PROCEDE DE DEPOT ASSISTE PAR PLASMA.
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CE TRAVAIL CONCERNE LES DEPOTS DE NITRURE DE SILICIUM AMORPHE HYDROGENE ASSISTES PAR PLASMA RADIOFREQUENCE, A PARTIR D'UN MELANGE GAZEUX SILANE ET AMMONIAC. L'INFLUENCE DES CONDITIONS OPERATOIRES, TELLES QUE LE RAPPORT DES DEBITS GAZEUX ET LA PUISSANCE, SUR LES PROPRIETES DU MATERIAU, A ETE ANALYSEE. LES CARACTERISTIQUES PHYSICO-CHIMIQUES DU MATERIAU ONT ETE TOUT D'ABORD ETUDIEES PAR SPECTROSCOPIE INFRAROUGE. LES SPECTRES INFRAROUGES OBTENUS PAR TRANSMISSION DIRECTE ET PAR REFLEXION, POUR DES ANGLES D'INCIDENCE DIFFERENTS ET POUR UNE LUMIERE POLARISEE PARALLELEMENT ET PERPENDICULAIREMENT, SUGGERENT UNE INTERACTION ANISOTROPIQUE FAISCEAU-ECHANTILLON, DUE PROBABLEMENT A DES MODES DE VIBRATION SUR UNE PETITE ECHELLE DE PHONONS: UN MODE PARALLELE LO (1040-1070 CM#-#1), UN MODE PARALLELE ET PERPENDICULAIRE TO (840 CM#-#1). LA SPECTROSCOPIE DE PHOTOELECTRONS PAR RAYONS X ET LES ANALYSES OPTIQUES ONT DONNE DES INFORMATIONS SUR LA COMPOSITION ATOMIQUE ET L'ENVIRONNEMENT CHIMIQUE DANS LE MATERIAU. SOUS UN POURCENTAGE DE SILANE FAIBLE ET/OU SOUS FORTE PUISSANCE, IL APPARAIT QUE L'ON TROUVE PRINCIPALEMENT DES LIAISONS N(SI#3) ET EN MOINDRE QUANTITE DES LIAISONS N-H (H#XN-SI#3#-#X) DANS LES FILMS RICHES EN AZOTE. PAR CONTRE, DANS LES FILMS RICHES EN SILICIUM, ON TROUVE DES TETRAEDRES SI(N#4), DES LIAISONS SI-H ET SI-SI, CES DERNIERES PARAISSANT LIEES AU GAP OPTIQUE. LES PROPRIETES ELECTRIQUES DES FILMS ONT ETE ENSUITE DETERMINEES ET RELIEES AUX CARACTERISTIQUES PRECEDENTES. L'ETUDE DES DENSITES DE CHARGES PIEGEES DANS LE VOLUME DU MATERIAU, DES ETATS D'INTERFACE ET DES PERTES DIELECTRIQUES, A MONTRE QU'IL ETAIT POSSIBLE SOUS CERTAINES CONDITIONS DE SYNTHETISER UN DIELECTRIQUE POSSEDANT TRES PEU DE DEFAUTS. UN MODELE RELATIF AU PIEGEAGE DES CHARGES ET PRENANT EN COMPTE LES DIFFERENTS RESULTATS EXPERIMENTAUX ET BIBLIOGRAPHIQUES, A ETE DISCUTE. LE PROBLEME DE L'ORIGINE DES CHARGES A EGALEMENT ETE SOULEVE
Author: Guy Turban Publisher: ISBN: Category : Languages : fr Pages : 253
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DISPOSITIFS DE PRODUCTION ET DE DIAGNOSTIC DU PLASMA DE SILANE. DISSOCIATION ET IONISATION DU SIH::(4) DANS LA DECHARGE HF. CINETIQUE DU TRANSPORT DIFFUSIONNEL DE MATIERE DANS LE REACTEUR. REACTIONS SECONDAIRES AU SEIN DE LA DECHARGE DANS SIH::(4)-SID::(4)-HE. ROLE DE H::(2) DANS LE PLASMA SIH::(4)-H::(2)-D::(2). ETUDE DE L'INTERACTION DU PLASMA AVEC LE FILM EN CROISSANCE
Author: Jacques Tardy Publisher: ISBN: Category : Languages : fr Pages : 244
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ETUDE DES PROPRIETES PHYSIQUES DE COUCHES MINCES DE SI AMORPHE HYDROGENE PREPAREES PAR PULVERISATION REACTIVE. LES PROPRIETES DES COUCHES SERAIENT REGIES PAR LE BOMBARDEMENT PAR DES IONS ENERGETIQUES, PAR DES NEUTRES ET PAR DES ELECTRONS, EFFECTUE AU COURS DE LA FABRICATION DES COUCHES. ANALYSE DU PLASMA PAR SPECTROMETRIE DE MASSE. MISE EN EVIDENCE DU ROLE IMPORTANT DU BOMBARDEMENT PAR L'HYDROGENE ATOMIQUE ET DE LA POLARISATION DU SUBSTRAT
Author: Jérôme Perrin (auteur d'une thèse de physique).)
Author: Jérôme Perrin (auteur d'une thèse de physique).)
Author: Jérôme Perrin (auteur d'une thèse de sciences.)
Author: Jérome Perrin
Author: Abdelatif Djelloul
Author: Gisèle Serrano
Author: Guy Turban
Author: Jacques Tardy