Étude de l'implantation d'ions de zinc de haute énergie dans l'arséniure de gallium PDF Download
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MISE EN EVIDENCE DE LA CREATION D'UNE COUCHE DE TYPE P PAR IMPLANTATION D'IONS DE 1MEV DANS N-GAAS, DE LA POSSIBILITE DE DETERMINER LE PROFIL D'IMPURETE PAR MESURE A LA SONDE IONIQUE; ETUDE PAR MESURE D'EFFET HALL ET DECAPAGE CHIMIQUE. EXISTENCE D'UNE COUCHE INTRINSEQUE ENTRE LA COUCHE P ET LE SUBSTRAT N. RESTAURATION DES PROFILS DE DEFAUTS PAR RECUIT, ON DISTINGUE LES DEUX CAS OU L'IMPLANTATION A CREE UNE ZONE AMORPHE OU NON. PROPOSITION D'UN MODELE PERMETTANT D'ETABLIR UNE CORRELATION ENTRE MESURES ELECTRIQUES (MACROSCOPIQUES) ET MESURES DE CANALISATION MICROSCOPIQUE.
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MISE EN EVIDENCE DE LA CREATION D'UNE COUCHE DE TYPE P PAR IMPLANTATION D'IONS DE 1MEV DANS N-GAAS, DE LA POSSIBILITE DE DETERMINER LE PROFIL D'IMPURETE PAR MESURE A LA SONDE IONIQUE; ETUDE PAR MESURE D'EFFET HALL ET DECAPAGE CHIMIQUE. EXISTENCE D'UNE COUCHE INTRINSEQUE ENTRE LA COUCHE P ET LE SUBSTRAT N. RESTAURATION DES PROFILS DE DEFAUTS PAR RECUIT, ON DISTINGUE LES DEUX CAS OU L'IMPLANTATION A CREE UNE ZONE AMORPHE OU NON. PROPOSITION D'UN MODELE PERMETTANT D'ETABLIR UNE CORRELATION ENTRE MESURES ELECTRIQUES (MACROSCOPIQUES) ET MESURES DE CANALISATION MICROSCOPIQUE.
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MISE EN EVIDENCE DE LA CREATION D'UNE COUCHE DE TYPE P PAR IMPLANTATION D'IONS DE 1MEV DANS N-GAAS, DE LA POSSIBILITE DE DETERMINER LE PROFIL D'IMPURETE PAR MESURE A LA SONDE IONIQUE; ETUDE PAR MESURE D'EFFET HALL ET DECAPAGE CHIMIQUE. EXISTENCE D'UNE COUCHE INTRINSEQUE ENTRE LA COUCHE P ET LE SUBSTRAT N. RESTAURATION DES PROFILS DE DEFAUTS PAR RECUIT, ON DISTINGUE LES DEUX CAS OU L'IMPLANTATION A CREE UNE ZONE AMORPHE OU NON. PROPOSITION D'UN MODELE PERMETTANT D'ETABLIR UNE CORRELATION ENTRE MESURES ELECTRIQUES (MACROSCOPIQUES) ET MESURES DE CANALISATION MICROSCOPIQUE
Author: Pierre-Noël Favennec
Author: Pierre-Noël Favennec
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