Effets hydrodynamiques dans un réacteur à plasma de croissance de diamant PDF Download
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Book Description
Dans la modélisation des plasmas utilisés pour la croissance de diamant fonctionnant à pressions modérées et faibles débits de gaz, les effets hydrodynamiques ne sont pas pris en compte. En effet, dans ces conditions, le transport des espèces réactives dans ces réacteurs est contrôlé par la diffusion. Cependant, à forte densité de puissance (haute pression et puissance micro-ondes) et pour des débits supérieurs à 500 sccm, les vitesses de croissance dépendent du débit du gaz ainsi que de la configuration d'injection et de pompage. Dans le cadre de cette thèse, nous avons développé un modèle numérique 2D (axisymétrique) et 3D pour décrire l'écoulement hydrodynamique dans les réacteurs PECVD diamant. En raison de la grande complexité d'une modélisation complète du plasma, nous avons fortement simplifié la description du plasma d’une part en utilisant un terme source thermique mimant la distribution spatiale du gaz au sein du plasma, et d’autre part en réduisant le schéma de cinétique chimique. Une comparaison entre les résultats issus de ce code et ceux provenant des modèles plasmas préexistant au LSPM ainsi que les résultats expérimentaux a permis de valider cette approche. Le modèle conduit à une bonne représentation des processus thermochimiques se déroulant dans le plasma. Sur cette base, nous avons étudié de nouvelles configurations d'injection et de pompage à l'aide de simulations 3D et de l’expérience. Certaines configurations se sont révélées adéquates pour accroître la rentabilité du procédé de dépôt de diamant.
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Dans la modélisation des plasmas utilisés pour la croissance de diamant fonctionnant à pressions modérées et faibles débits de gaz, les effets hydrodynamiques ne sont pas pris en compte. En effet, dans ces conditions, le transport des espèces réactives dans ces réacteurs est contrôlé par la diffusion. Cependant, à forte densité de puissance (haute pression et puissance micro-ondes) et pour des débits supérieurs à 500 sccm, les vitesses de croissance dépendent du débit du gaz ainsi que de la configuration d'injection et de pompage. Dans le cadre de cette thèse, nous avons développé un modèle numérique 2D (axisymétrique) et 3D pour décrire l'écoulement hydrodynamique dans les réacteurs PECVD diamant. En raison de la grande complexité d'une modélisation complète du plasma, nous avons fortement simplifié la description du plasma d’une part en utilisant un terme source thermique mimant la distribution spatiale du gaz au sein du plasma, et d’autre part en réduisant le schéma de cinétique chimique. Une comparaison entre les résultats issus de ce code et ceux provenant des modèles plasmas préexistant au LSPM ainsi que les résultats expérimentaux a permis de valider cette approche. Le modèle conduit à une bonne représentation des processus thermochimiques se déroulant dans le plasma. Sur cette base, nous avons étudié de nouvelles configurations d'injection et de pompage à l'aide de simulations 3D et de l’expérience. Certaines configurations se sont révélées adéquates pour accroître la rentabilité du procédé de dépôt de diamant.
Author: Ricardo S. Sussmann Publisher: John Wiley & Sons ISBN: 9780470740361 Category : Technology & Engineering Languages : en Pages : 596
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Synthetic diamond is diamond produced by using chemical or physical processes. Like naturally occurring diamond it is composed of a three-dimensional carbon crystal. Due to its extreme physical properties, synthetic diamond is used in many industrial applications, such as drill bits and scratch-proof coatings, and has the potential to be used in many new application areas A brand new title from the respected Wiley Materials for Electronic and Optoelectronic Applications series, this title is the most up-to-date resource for diamond specialists. Beginning with an introduction to the properties of diamond, defects, impurities and the growth of CVD diamond with its imminent commercial impact, the remainder of the book comprises six sections: introduction, radiation sensors, active electronic devices, biosensors, MEMs and electrochemistry. Subsequent chapters cover the diverse areas in which diamond applications are having an impact including electronics, sensors and actuators and medicine.
Author: Satoshi Koizumi Publisher: John Wiley & Sons ISBN: 3527623183 Category : Technology & Engineering Languages : en Pages : 374
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Here, leading scientists report on why and how diamond can be optimized for applications in bioelectronic and electronics. They cover such topics as growth techniques, new and conventional doping mechanisms, superconductivity in diamond, and excitonic properties, while application aspects include quantum electronics at room temperature, biosensors as well as diamond nanocantilevers and SAWs. Written in a review style to make the topic accessible for a wider community of scientists working in interdisciplinary fields with backgrounds in physics, chemistry, biology and engineering, this is essential reading for everyone working in environments that involve conventional electronics, biotechnology, quantum computing, quantum cryptography, superconductivity and light emission from highly excited excitonic systems.
Author: Andrew Briggs Publisher: Springer Science & Business Media ISBN: 1461558514 Category : Science Languages : en Pages : 292
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This is the second volume of Advances in Acoustic Microscopy. It continues the aim of presenting applications and developments of techniques that are related to high-resolution acoustic imaging. We are very grateful to the authors who have devoted considerable time to preparing these chapters, each of which describes a field of growing importance. Laboratories that have high-performance acoustic microscopes are frequently asked to examine samples for which the highest available resolution is not necessary, and the ability to penetrate opaque layers is more significant. Such applications can be thought of as bridging the gap be tween acoustic microscopy at low gigahertz frequencies, and on the one hand nondestructive testing of materials at low megahertz frequencies and on the other hand medical ultrasonic imaging at low megahertz frequencies. Commercial acoustic microscopes are becoming increasingly available and popular for such applications. We are therefore delighted to be able to begin the volume with chapters from each of those two fields. The first chapter, by Gabriele Pfannschmidt, describes uses of acoustic microscopy in the semiconductor industry. It provides a splendid balance to the opening chapter of Volume 1, which came from a national research center, being written from within a major European electronics industry itself. Dr Pfann schmidt describes the use of two quite different types of acoustic microscopes, and points out the advantages of each for specific purposes.
Author: R. C. Hansen Publisher: John Wiley & Sons ISBN: 047004103X Category : Technology & Engineering Languages : en Pages : 168
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A seminal reference to electrically small antennas for today's wireless and Wi-Fi world This book is dedicated to the challenges posed by electrically small antennas and their solutions. Electrically small antennas have characteristics that limit performance: low radiation resistance, high reactance, low efficiency, narrow bandwidth, and increased loss in the matching network. Most of these limitations are shared by two other classes of antennas: superdirective and superconducting antennas. All three classes of antennas are thoroughly treated in three interrelated parts: * Part One, Electrically Small Antennas, begins with a discussion of the fundamental limitations of bandwidth and matching, then provides detailed design information on loaded whips and dipoles, ferrite loops, patches with unusual substrates, and dielectric resonator antennas. In addition to exploring designs that work, the author sets forth antenna designs that are based on good physics yet are poor performers, as well as designs with both poor underlying physics and poor performance. * Part Two, Superdirective Antennas, sets forth basic capabilities and limitations of superdirective antennas, both apertures and arrays, and investigates bandwidth, efficiency, and tolerances. The author explores the magnification of intrinsic matching circuit loss due to a large mismatch and evaluates the recent and promising non-Foster matching circuits. * Part Three, Superconducting Antennas, reviews superconductivity concepts and new principles for dipole, loop, and patch antennas. The author concludes with a discussion of superconducting delay lines for wideband phased array steering. Throughout the book, the author provides readers with a historical perspective, setting forth what has been investigated, what works, and what does not. Each part has its own author index and a list of references to help readers continue their explorations of particular topics.With the explosive demand for wireless and Wi-Fi, this seminal reference is essential reading for all antenna professionals and is recommended as a graduate-level course book.
Author: Amine Mesbahi
Author: Amine Mesbahi![Étude de l'hydrodynamique d'un réacteur à plasma submergé [microforme] PDF](https://books.google.com/books/content/images/frontcover/5MUiQwAACAAJ?fife=w80-h100)
Author: Philippe Quintal
Author: Ricardo S. Sussmann
Author: Satoshi Koizumi
Author: Cameron Tropea
Author: 
Author: Andrew Briggs
Author: N. Lakshminarayanaiah
Author: R. C. Hansen
Author: Canada. Patent Office