Book Description
L'industrie de la micro-électronique remet à jour régulièrement sa " roadmap " internationale pour ses développements technologiques. L'introduction des nouvelles filières technologiques s'accélère, motivée par les besoins en électronique portable, en ordinateurs personnels de plus en plus puissants, en télécommunications et multimédia, ainsi que par le développement maintenant très important de l'électronique dans le monde de l'automobile. Cette course à l'intégration nécessite des implantations à des énergies de plus en plus faibles et des doses de plus en plus fortes (en fonction des composants). Afin de répondre à la demande des industriels du domaine de la microélectronique, IBS a conçu son propre prototype d'implanteur ionique par immersion plasma (PULSION(r)). Ce type d'implantation est très attractif pour les industriels car il offre un rendement et des cadences de production (wafer/heure) plus importants avec un coût de fabrication plus faible qu'un implanteur dit classique (faisceau d'ions). Cette thèse a pour but de caractériser les procédés d'implantation de type P par immersion plasma de manière approfondie en utilisant la machine PULSION installée au LETI afin de les intégrer dans la fabrication de composants dernières générations (FD-SOI ultime et Trigate pour nano-fils). De nombreuses études expérimentales ont été réalisées afin de comprendre les mécanismes physiques et chimiques mis en jeu lors de l'implantation par immersion plasma. La compréhension de ces mécanismes est beaucoup plus compliquée qu'une implantation par faisceau d'ions car le substrat est constamment immergé dans un plasma et toutes les espèces ioniques du plasma sont implantées. Nous avons donc observé des comportements différents des profils implantés entre les deux techniques d'implantation. Les conditions de plasma ont ensuite été optimisées dans le but d'intégrer les procédés Pulsion(r) dans la fabrication de transistors FD-SOI et Trigate. Les premiers résultats montrent que l'implantation par immersion plasma permet d'obtenir sur des composants planaires (FD-SOI) les mêmes performances électriques qu'un implanteur à faisceau d'ions. Par contre les performances sont nettement améliorées sur des transistors multi-grilles de type Trigate. Des développements procédés devraient encore améliorer ses performances.
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Ce travail présente la technique d'implantation d'ions par immersion plasma (PIII) comme un outil prometteur pour la réalisation des jonctions ultra fines (USJ). Le prototype PIII appelé PULSION® utilisé dans cette étude, a été conçu et développé par la société IBS. Les profils SIMS de bore obtenus sur des échantillons implantés par PULSION® montrent des profondeurs d'implantation variant de quelques nanomètres à une trentaine de nanomètres avant activation. Ces résultats nous ont amené à concentrer nos efforts sur l'optimisation des recuits d'activation post implantation afin d'obtenir le meilleur compromis X/Rsq. Différents recuits tels que le RTA, le Spike et le LASER ont ensuite été associés à l'implantation PIII et comparés entre eux. Les caractérisations électriques et physico-chimiques présentent le recuit laser comme une technologie prometteuse associée à l'implantation PIII. Afin de limiter l'effet de canalisation des atomes de bore lors des implantations PIII, plusieurs pré-amorphisations (PAI) ont été étudiées. Parmi elles, la PAI d'ions germanium montre des résultats intéressants. L'amorphisation du silicium (estimée à 20 nm à partir d'imagerie TEM) permet de diminuer la profondeur de jonction de 30 nm à 24 nm après activation. Une application de la technique PIII à la conception de l'émetteur d'une photodiode a été effectuée. Les caractéristiques électriques du composant ainsi réalisé sont comparables à des cellules standards. De plus, la faible épaisseur de la jonction permet une amélioration du rendement quantique interne dans les courtes longueurs d'onde, ce qui permettrait l'utilisation de telles cellules dans le domaine spatial.
Author: Ahmed Belasri Publisher: Springer Nature ISBN: 9811554447 Category : Technology & Engineering Languages : en Pages : 659
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This book highlights peer reviewed articles from the 1st International Conference on Renewable Energy and Energy Conversion, ICREEC 2019, held at Oran in Algeria. It presents recent advances, brings together researchers and professionals in the area and presents a platform to exchange ideas and establish opportunities for a sustainable future. Topics covered in this proceedings, but not limited to, are photovoltaic systems, bioenergy, laser and plasma technology, fluid and flow for energy, software for energy and impact of energy on the environment.
Author: Paolo Mele Publisher: ISBN: 9781536160864 Category : Zinc oxide thin films Languages : en Pages : 0
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Zinc oxide (ZnO) is an n-type semiconductor with versatile applications such as optical devices in ultraviolet region, piezoelectric transducers, transparent electrode for solar cells and gas sensors. This book "ZnO Thin Films: Properties, Performance and Applications" gives a deep insight in the intriguing science of zinc oxide thin films. It is devoted to cover the most recent advances and reviews the state of the art of ZnO thin films applications involving energy harvesting, microelectronics, magnetic devices, photocatalysis, photovoltaics, optics, thermoelectricity, piezoelectricity, electrochemistry, temperature sensing. It serves as a fundamental information source on the techniques and methodologies involved in zinc oxide thin films growth, characterization, post-deposition plasma treatments and device processing. This book will be invaluable to the experts to consolidate their knowledge and provide insight and inspiration to beginners wishing to learn about zinc oxide thin films.
Author: Agnes Buka Publisher: World Scientific ISBN: 1848167997 Category : Science Languages : en Pages : 299
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The book intends to give a state-of-the-art overview of flexoelectricity, a linear physical coupling between mechanical (orientational) deformations and electric polarization, which is specific to systems with orientational order, such as liquid crystals. Chapters written by experts in the field shed light on theoretical as well as experimental aspects of research carried out since the discovery of flexoelectricity. Besides a common macroscopic (continuum) description the microscopic theory of flexoelectricity is also addressed. Electro-optic effects due to or modified by flexoelectricity as well as various (direct and indirect) measurement methods are discussed. Special emphasis is given to the role of flexoelectricity in pattern-forming instabilities. While the main focus of the book lies in flexoelectricity in nematic liquid crystals, peculiarities of other mesophases (bent-core systems, cholesterics, and smectics) are also reviewed. Flexoelectricity has relevance to biological (living) systems and can also offer possibilities for technical applications. The basics of these two interdisciplinary fields are also summarized.
Author: NSTI Publisher: CRC Press ISBN: 9781482205848 Category : Science Languages : en Pages : 0
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The NanoScience and Technology Institute (NSTI) nanotechnology conferences have built a tradition of being the most prestigious forum in the world for leading nano scientists, and Nanotech 2013 is no exception. Top nano scientists offer an up-to-date global perspective on the latest developments in nanotechnology. More than mere proceedings, these volumes cut across every scientific and engineering discipline to provide the most complete record of current accomplishments in nanotech. Volume 2 covers electronic devices, fabrication, MEMS, fluidics, and computation.
Author: Jerome V. Moloney Publisher: Springer Science & Business Media ISBN: 9780387985817 Category : Business & Economics Languages : en Pages : 270
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Mathematical methods play a significant role in the rapidly growing field of nonlinear optical materials. This volume discusses a number of successful or promising contributions. The overall theme of this volume is twofold: (1) the challenges faced in computing and optimizing nonlinear optical material properties; and (2) the exploitation of these properties in important areas of application. These include the design of optical amplifiers and lasers, as well as novel optical switches. Research topics in this volume include how to exploit the magnetooptic effect, how to work with the nonlinear optical response of materials, how to predict laser-induced breakdown in efficient optical devices, and how to handle electron cloud distortion in femtosecond processes.
Author: Julian Duchaine
Author: Laurent Marot
Author: Vanessa Vervisch
Author: Ahmed Belasri
Author: Paolo Mele
Author: Agnes Buka
Author: NSTI
Author: Jerome V. Moloney
Author: Universidade de Coimbra