Contribution à l'étude de la déposition chimique en phase gazeuse du molybdène sur le silicium et des réactions dans l'état solide entre ces deux éléments PDF Download

Author: Jean-François Leger
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Languages : fr
Pages : 104

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Author: Jean-François Leger
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Languages : fr
Pages : 100

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Category : Dissertations, Academic
Languages : en
Pages : 596

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Author: MOHAMED.. KHALFALLAH
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Languages : fr
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L'ETUDE PRESENTEE PORTE D'UNE PART SUR LA CARACTERISATION DES ESPECES ABSORBEES FORMEES PAR CONTACT (ENTRE 25C ET 350C) DES REACTIFS (CO, CO#2, H#2) ET PRODUITS (H#2O, CH#3OH) DE LA SYNTHESE DU METHANOL A PARTIR DE CO/H#2 OU DE CO#2/H#2 SUR QUATRE SOLIDES AEROGELS: ZIRCONE PURE OU IMPREGNEE DE ZNO ET CUO (PURS OU MIXTES). D'AUTRE PART LA DETERMINATION DES ESPECES POUVANT ETRE CONSIDEREES COMME DES INTERMEDIAIRES ABSORBES DE LA FORMATION DU METHANOL A ETE REALISEE. LE DENOMBREMENT DES ESPECES ABSORBEES AINSI QUE LEURS CONCENTRATIONS SUPERFICIELLES ONT ETE FAITES PAR DES EXPERIENCES EN REGIME TRANSITOIRE (CHIMISORPTION, THERMODESORPTION DTP, OU THERMOREACTION RTP). LEURS STRUCTURES CHIMIQUES ONT ETE PRECISEES A L'AIDE DE LA SPECTROSCOPIE IR. LA DETERMINATION DU ROLE D'INTERMEDIAIRE REACTIONNEL DES ESPECES A PORTE SUR LE SOLIDE ZNO/ZRO#2. L'ADSORPTION DE CO OU DE CO#2 A 250C DONNE DIFFERENTS CARBONATES MAIS SEUL LE CARBONATE UNIDENTE S'HYDROGENE RAPIDEMENT EN FORMIATE GRACE A L'HYDROGENE ABSORBE CARACTERISE PAR UN PIC DE DTP A T#M=205C. LE FORMIATE FORME S'HYDROGENE ENSUITE LENTEMENT EN METHOXYLE. LE FORMIATE PEUT EGALEMENT ETRE FORME DIRECTEMENT DES L'ADSORPTION DE CO A 150C PAR REACTION ENTRE CO ET LES HYDROXYLES DU SOLIDE. LORSQUE L'ADSORPTION DE CO EST REALISEE A 350C, LE CARBONATE UNIDENTE SUBIT DEUX REACTIONS D'HYDROGENATION RAPIDE, L'UNE EN FORMIATE, L'AUTRE EN METHOXYLE VIA UN INTERMEDIAIRE NON IDENTIFIE (HYDROGENATION RAPIDE). CETTE REACTION PROVIENT DE LA CREATION A 350C DE NOUVEAUX SITES CHIMISORBANT H#2 (PIC DE DTP A T#M=310C) PAR L'INTERACTION DE CO AVEC LA SURFACE DU SOLIDE

Author: Audrey Di Martino
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ISBN: 9789036523424
Category :
Languages : en
Pages : 299

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Ce travail de recherche est dédié à l'étude de la morphogenèse des macroparticules produites dans les très court temps de polymérisation des oléfines (de 40 ms à 1,5 s) sur catalyseur Ziegler-Natta supporté. L'objectif de ce travail a été de développer des outils d'étude spécifiques (un réacteur et un modèle) pour répondre à la question : " Quelles peuvent être les interactions entre la morphologie du catalyseur, les conditions de procédés appliquées, la vitesse de polymérisation intrinsèque du système, la morphologie des macroparticules en croissance et les propriétés du polymère naissant? ". Dans le Chapitre 1, nous avons examiné l'évolution de la morphologie des particules dès les premiers instants de polymérisation via une critique bibliographique. Le Chapitre 2 est dédié aux mécanismes de croissance des particules, aux procédés contrôlant le développement de la morphologie de celles-ci, ainsi qu'à la compréhension des facteurs affectant la structure du polymère. Les fonctions " cinétiques " et " clichés instantanés " de la technique de type " quenched-flow " que nous avons développée nous ont permis de fournir de nouveaux éléments pour élucider les modes de fragmentation et de croissance de la macroparticule. Dans le Chapitre 3, nous avons examinés et discutés du potentiel d'une approche de modélisation de type multi-échelle. Chaque niveau que nous avons définis contribue à la prédiction, la description et/ou la quantification du modèle de comportement de notre macroparticule composite. Enfin, dans le Chapitre 4, nous récapitulons les grandes conclusions de nos travaux et proposons de nouveaux axes de développements.

Author: Patrick Sarrazin
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Languages : fr
Pages : 280

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La préparation de précurseurs oxydes de catalyseurs d'hydrotraitement à base de molybdène déposé sur alumine et sur alumine modifiée par le silicium a été étudiée. Le premier chapitre présente les éléments bibliographiques relatifs à la préparation, aux supports, aux solutions de sels de molybdène, puis aux différentes phases supportées. Nous présentons dans un second chapitre une étude de l'étape d'imprégnation du Mo en utilisant de manière originale la résonance magnétique nucléaire (RMN) du molybdène-95 sur des échantillons imprégnés et non séchés. Les alumines modifiées par le silicium sont caractérisées dans le chapitre 3 par spectroscopie infra-rouge (IR) et par spectroscopie de photoélectrons induits par rayons X (SPX). L'interaction du silicium avec des sites particuliers basiques de l'alumine est mise en évidence par une méthode de dosage des sites basiques et par IR. Dans le chapitre 4, les précurseurs oxydes préparés sur ces alumines modifiées sont étudiés, lors de l'étape d'imprégnation par RMN du 95Mo, et à l'état calciné par IR et SPX. L'occupation des sites basiques de l'alumine par le silicium provoque une diminution de la capacité du support à disperser les espèces polyanioniques du Mo. Une description du site d'interaction et de la localisation de celui-ci sur une plaquette modèle d'alumine est proposée dans un dernier chapitre, ainsi qu'une description globale de la structure des précurseurs oxydes

Author: Bernard Roques
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Category :
Languages : fr
Pages : 157

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Notre travail aura été consacré essentiellement à des siliciurations de molybdène à l'état divisé. S'inscrivant dans une voie différente de celle envisagée à l'origine, il apporte, par contre, des précisions sur les processus qui peuvent intervenir dans différentes conditions de réaction entre molybdène et silicium. Dans une première partie de ce mémoire, nous avons rassemblé et précisé certaines propriétés des siliciures de molybdène et présenté les méthodes d'analyse mises au point pour cette étude. La deuxième partie comportera une étude des cinétiques d'homogénéisation de mélanges de poudres de molybdène et de silicium dans différentes conditions susceptibles de modifier les mécanismes réactionnels. Dans la troisième partie, seront précisés les processus impliqués dans la siliciuration du molybdène par des composés chlorés du silicium.

Author: Khalid Yacoubi
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Category :
Languages : fr
Pages : 162

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CE TRAVAIL CONSISTE EN L'ANALYSE ET LA MODELISATION DU DEPOT PAR LPCVD (LOW PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION) DE NITRURE DE SILICIUM, COURAMMENT UTILISE DANS L'INDUSTRIE MICROELECTRONIQUE COMME COUCHE DE PASSIVATION. LE DEPOT EST REALISE PAR PYROLYSE D'UN MELANGE SILANE-AMMONIAC DANS UN REACTEUR DE TYPE TUBULAIRE HORIZONTAL A PAROIS CHAUDES FONCTIONNANT A BASSE PRESSION. EN RAISON DU NOMBRE LIMITE DE DONNEES DE LA LITTERATURE, LA PREMIERE PARTIE DE CE TRAVAIL CONSISTE EN UNE ETUDE EXPERIMENTALE, AFIN DE DEGAGER LES CARACTERISTIQUES DU DEPOT. NOUS MONTRONS QUE LE MECANISME CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE JOUE UN ROLE IMPORTANT, NOTAMMENT DANS LA FORMATION DE SUREPAISSEURS A LA PERIPHERIE DES PLAQUETTES. UNE ANALYSE APPROFONDIE DU SYSTEME CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE ET DU ROLE DES DIFFERENTES ESPECES SUSCEPTIBLES DE CONTRIBUER AU DEPOT NOUS AMENE A PROPOSER UN MECANISME CHIMIQUE SIMPLIFIE, MAIS SUFFISAMMENT REPRESENTATIF POUR RENDRE COMPTE DES OBSERVATIONS EXPERIMENTALES. LES CONSTANTES CINETIQUES EN PHASE GAZEUSE ONT ETE EVALUEES A PARTIR D'UN MODELE QRRK. NOUS PRESENTONS ENSUITE L'EXTENSION AU CAS DU DEPOT DE NITRURE DE SILICIUM DU LOGICIEL CVD2, PRECEDEMMENT DEVELOPPE DANS NOTRE LABORATOIRE (MODELE BIDIMENSIONNEL D'ETUDE LOCALE QUI INTEGRE LES EQUATIONS DE NAVIER STOKES, DE TRANSFERT DE MATIERE COUPLEES AUX LOIS CINETIQUES DES REACTIONS CHIMIQUES MISES EN JEU). LA DETERMINATION DES CONSTANTES CINETIQUES EN PHASE HETEROGENE A ETE EFFECTUEE PAR IDENTIFICATION AVEC NOS RESULTATS EXPERIMENTAUX (I. E., EPAISSEUR DU DEPOT ET RAPPORT MOLAIRE SI/N). L'ETUDE COMBINEE SIMULATION-EXPERIENCE A PERMIS DE VALIDER LES CHOIX EFFECTUES AU NIVEAU DES MECANISMES CHIMIQUES PROPOSES ET D'APPORTER UNE CONTRIBUTION A L'EXPLICATION DES PHENOMENES MIS EN JEU LORS DU DEPOT

Author: Pierre Steinmetz
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Languages : fr
Pages : 88

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La siliciuration superficielle est une méthode intéressante de protection du molybdène et de ses alliages contre l'oxydation à chaud. En effet, le traitement est facile à réaliser et les revêtements du disiliciure MoSi2 sont passivés dans un large domaine de température et de pression d'oxygène, grâce à la formation d'un film de silice. Si l'on excepte les risques d'accidents mécaniques provoquant la fissuration ou le décollement des revêtements, ce système de protection présente toutefois deux inconvénients : - il est thermodynamiquement instable et évolue par diffusion à l'état solide avec formation de composés intermédiaires [...] qui sont beaucoup plus oxydables que le disiliciure [...] ; - il résiste moins bien aux cycles thermiques qu'aux chauffages isothermes, probablement à cause de la différence entre les coefficients de dilatation du disiliciure et de la silice [...]. C'est en vue d'atténuer ces défauts que nous avons étudié des revêtements ternaires associant le silicium au carbone et au germanium.

Author: Léonard Jeloaica
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Languages : fr
Pages : 278

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L'objectif de ce travail est d'apporter un éclairage nouveau à la compréhension des mécanismes physico-chimiques qui contrôlent la croissance des trois oxydes d'Aluminium, de Zirconium, de Hafnium. Ces matériaux sont considérés comme les meilleurs candidats pour remplacer la silice en tant qu'oxyde de grille dans le futur composant MOS. La précision et la fiabilité de la méthode DFT associé à la fonctionnelle B3LYP, ont été testées à l'aide des résultats expérimentaux et des méthodes ab initio les plus précis telles que CCSD(T) et CISD(T), en utilisant différents ensembles des fonctions de bases. Nos résultats montrent que et la méthode hybride DFT peut prédire de façon précise les propriétés statistiques et dynamiques de la famille d'organométalliques (AlxCyHzOt) et des systèmes moléculaires à base de métaux de transition (Zr/HfxClyOzHt). Les premières études systématiques des surfaces d'énergie potentielle de TMA ont été présentes et les caractéristiques des rotors constitués des groups méthyles ont été rapportées avec une grande précision. Les mécanismes réactionnels, à plusieurs étapes, entre les molécules précurseurs de trois oxydes et les molécules d'eau résiduelle phase gazeuse ont été étudies en détail. Les mouvements internes fortement anharmoniques, des espèces moléculaires présentes touts au long du processus d'hydrolyse ont été déterminés. Les effets qualitatifs sur les cinétiques des réactions ont été discutés. La forte exothermicité de la réaction TMA/H2O a été démontrée, alors que la réaction avec les tétrachlorures de Zirconium et Hafnium ont montré un caractère plutôt endothermique. Nous avons aussi étudié les mécanismes réactionnels de la vapeur d'eau avec d'espèces moléculaires chimisorbés en surface. Les réactions interviennent dans les cycles initiales d'ALD sur en substrat de Si(001)-2x1 légèrement oxydé. Les mécanismes que nous proposons sont qualitativement proches des mécanismes d'hydrolyse discutés dans la phase gaz euse : confirmation de la forte réactivité exothermique avec les hydroxyméthyliques d'Aluminium, endothermicité des réactions avec hydroxychlorures de Zirconium et Hafnium. Les composés avec le Zirconium et le Hafnium ont des comportements similaires. Enfin, les effets de coopérativité, à la fois au niveau des molécules de vapeur d'eau, qu'au niveau des complexes en surface, sur les réactions ont été mis en évidence et discutés. Ils montrent des comportements tout à fait intéressants dans le cas des hydroxychlorures des Zirconium et Hafnium. Par contre, ces effets sont de moindre importance dans les cas de l'oxyde d'aluminium, qui est actuellement considéré comme le matériau le plus compatible avec la croissance par ALD.