Conception et réalisation de circuits intégrés d'interface pour micro-capteurs capacitifs PDF Download

Author: Gilles Amendola
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Languages : fr
Pages : 205

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Author: Jean-Luc Oszustowicz
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Languages : fr
Pages : 204

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Des capteurs utilisant l'effet Doppler dans le domaine des micro-ondes permettent la mesure de vitesse et de distance des véhicules terrestres. Néanmoins, la miniaturisation de ces capteurs et leur production en grande série restent un problème majeur. Pour ces raisons, une des orientations actuelles des recherches appliquées dans ce domaine est l'intégration monolithique de ces capteurs de mesures. Ces capteurs utilisent un circulateur associe à d'autres circuits bien connus tels que l'oscillateur et le mélangeur. Le circulateur est en général un composant passif fabrique avec un disque de ferrite qui le rend incompatible avec une intégration monolithique. Notre travail consiste donc à concevoir l'intégration monolithique d'un circulateur actif avec une filière technologique utilisant des MESFET ; la réalisation de ce circuit intégré est faite au laboratoire central de l'IEMN. Une première réalisation en technologie hybride nous a permis de nous rendre compte du fonctionnement de ce type de circuit et des problèmes à éviter et nous a permis de retenir une topologie pour la conception du circulateur actif intégré. La réalisation de tels circuits intégrés nécessite une technologie particulière : les via-holes ; nous avons donc mis en oeuvre un procédé de gravure ionique réactive de l'arséniure de gallium permettant une gravure profonde (100 μm) utilisant le fréon 12 (CC12F2) comme gaz réactif. Afin de valider notre procédé, nous avons réalisé des composants passifs (inductances) utilisant ces via-holes, et nous les avons caractérisés sous pointes pour en extraire un schéma électrique équivalent. L'optimisation d'étapes de la réalisation technologique est également nécessaire. Les premières mesures nous confirment la prévision des évolutions théoriques du fonctionnement du circulateur et valide la topologie employée pour le réaliser.

Author: Sébastien Nazeer
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Languages : fr
Pages : 0

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Ce travail de thèse présente la conception et la réalisation d'un capteur de pression 3D flexible pouvant être intégré dans un gant ou sur un outil de chirurgie pour qualifier et quantifier les forces de préhension notamment sous contraintes normales et de cisaillement. Un état de l'art présente d'abord les technologies se prêtant à cette application. Puis, le choix est porté sur la conception et le dimensionnement à partir de la loi de Hooke, d'un capteur matriciel capacitif tri-axe de 8 x 8 x 3 cellules/cm2 à partir d'un diélectrique flexible de faible module d'Young autour de 1 MPa. Les cellules conçues ont une capacité nominale voisine de 0,5 pF. Une variation de 30% est attendue à une force maximale envisagée de 100 N/cm2. La dynamique visée est de 1 à 1000. Elle correspondant à une résolution de 0,15 fF ou 100 mN/cm2. La fabrication du capteur souple est abordée en prenant en compte la caractérisation des matériaux support, notamment le Kapton, dans un flux de microfabrication. Les problèmes de métallisation et d'adhérence d'électrodes sur PDMS conduisent au développement d'un procédé basé sur la technologie de transfert de film adapté aux électrodes enfouies dans le PDMS. Des résultats de simulation sous ANSYS valident le principe physique exploité. Ils sont confirmés par des mesures électriques statiques et en charge du capteur tactile pour des forces de 10 mN à 20 N.

Author: Canada. Patent Office
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Category : Copyright
Languages : en
Pages : 1070

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